尼康的高分辨率光干涉显微镜.蹭飞

尼康旗下的NIKON INSTECH公司（总部：东京）将推出高度分辨率达到1pm的光干涉显微镜系统“BW-M7000”（图1）。该系统可高速高精度测定高度范围从亚纳米级到毫米级的表面性状（材料表面图案及粗糙度、表面上的微小落差等）。

司法实践中大多借鉴着作权领域的通知删除规则来判断交易平台是否存在过错表面性状测定采用尼康自主开发的方式——“FVWLI（Focus Variation with White Light Interferometry）法”。该方法可使对象材料的表面生成干涉纹，高精度决定各像素的焦点位置。通过使用这种方式，可在2.5倍（视野4.4×4.4mm）至100倍（视野111.0×110.0μm）的所有倍率下实现三维算数平均高度（Sa）为0.1nm级别的表面性状评估。能够以单一模式测定超平滑表面到粗糙表面，无需更换光学滤光片等部件。另外，在测定膜厚时使用光谱干涉法。能以不到0.1秒的时间测定厚度为1nm～40μm的透明薄膜的厚度。

可通过程序控制手段实现全自动测定，能够自动实施对焦、调整样品的倾斜、判断是否合格等操作。可自动测定多个视野，除了材料研发一线之外，还可轻松用于品质管理及品质保证现场。

该显微镜配备最大行程为 00× 00mm的电动XY轴载物台，以及最大行程为200mm的电动Z轴变焦载物台。可测定半导体、LED、薄膜材料、高分子材料、精密机械加工部件等多种样品（图2、图 ）。在测定钻头尖端的表面形状时，可用夹具保持其直立固定状态。

图2：SiC晶圆（Sa为0.1nm）的测定示例

图 ：探针痕迹（深度0.8μm）的测定示例

机身外形尺寸为宽900mm×纵深8 0mm×高1700mm，重量约为 17kg。价格为4500万日元起（不含税）。NIKON INSTECH在“第27届设计暨制造解决方案展”（2016年6月22～24日于东京有明国际会展中心举行）上，展出了此次的新系统。（：松田 千穗）